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SEMI E5-0200A标准详解:SECS-II协议核心内容与应用解析

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下载需积分: 5 | 4.68MB | 更新于2025-11-01 | 91 浏览量 | 8 下载量 举报 收藏
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其核心功能是规范设备与主机间的通信协议,确保互操作性和基础数据交换能力。SECS-II兼容SEMI E4(SECS-I)标准,并支持多种消息传输协议,定义了18个不同流的消息用途,涉及设备控制、异常处理、数据收集等关键领域。此外,该标准为用户预留了自定义流和功能代码,以满足特殊需求。适用人群包括半导体制造设备开发、维护工程师及自动化集成项目管理人员。使用场景包括IC制造过程中的控制程序传输、物料信息移动、测量数据汇总等,旨在实现高效、可靠的通信和简化设备集成流程。文档为中英文混版,便于理解,是从事半导体通信协议开发和应用的重要参考资料。"

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