SECS-II协议详解：半导体设备通信标准与消息结构定义

资源摘要信息:半导体制造领域中，SEMI E5-1104文档定义了SECS-II通信标准，该标准由全球信息与控制委员会批准，旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4（SECS-I）完全兼容，还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等，并详细规定了18个不同流的消息用途，涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外，SECS-II还涉及了计量单位的定义，并预留了一些流和功能代码供用户自定义。SEMI E5-1104文档的发布时间为2004年，作为SECS-II标准的核心版本沿用至今。该文档扩展了对复杂数据结构（如晶圆映射、工艺管理）的支持，并细化了流（Stream）与函数（Function）的定义，覆盖16个流（Stream 0至Stream 17），例如Stream 16用于工艺步骤协调。同时，该版本明确了事务超时机制（如T1-T4超时）和错误恢复逻辑。适用人群包括从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师，以及参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。使用场景及目标包括确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信；支持IC制造过程中常见的活动，如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等；为用户提供灵活的消息定义机制，以适应特殊需求；帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准，从而简化设备集成过程。值得注意的是，SECS-II并不解决与使用相关的安全问题，用户需自行建立适当的安全措施。SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题，提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时，建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档，以获得更深入的理解和技术指导。